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射頻電源
產品概述

射頻電源 產品列表.jpg


    我公司專業研發生產 射頻電源、匹配器系列產品,廣泛應用于半導體工藝設備、等離子體刻蝕、等離子體清洗、等離子體發生、PECVD/CVD/PVD、薄膜沉積、射頻濺射、醫療美容、科學研究等方面。

    工作頻率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

    輸出功率:300W、600W、1kW、1.5kW、3kW、6kW、8kW、10kW、12kW、20kW或定制

  

關鍵特性

先進高效率、高穩定性射頻功放技術

v  全數字控制,高穩定度和高可靠性

v  穩定可靠的功放和直流控制模塊

具有駐波保護功能,能在負載出現異常后快速啟動

v  輸出功率余量大,可長期穩定的工作

v  具有精確的功率測量功能,能精確的測量入射和反射功率

v  具有自動增益控制,能精準的控制輸出功率

v  支持本地控制和遠程控制,遠程控制采用RS485和RJ45網口

v  采用先進的功放技術,輸出功率可從50W至最大輸出功率連續可調

v  模塊化結構設計,安裝維修方便,節省空間,結構外形美觀,大方

v  支持實時功率和負載阻抗測量

v  支持連續工作模式、脈沖工作模式

完善的保護功能:過荷、過流、過溫等保護



商業應用

應用領域及行業:
光伏產業、化工業、制造業、平板顯示器行業、半導體行業、科學研究等
等離子體清洗、等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、射
頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、薄膜沉積、硅晶鍍膜等


更多產品

750M  200kW  400kW  固態功率源-方形.png           13.15 .png


        固態功率源                          自適應匹配器


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